| 任別 | 任期 | 姓名 |
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1 |
80年8月至83年7月 | 毛漢光榮譽教授（創所暨創系） |
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2 |
83年8月至84年3月 | 王業鍵院士 |
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代理 |
84年3月至85年7月 | 莊雅州教授 |
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3 |
85年8月至87年7月 | 毛漢光榮譽教授 |
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4、5 |
87年8月至93年7月 | 林冠群教授 |
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6 |
93年8月至96年7月 | 顏尚文教授 |
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7 |
96年8月至99年7月 | 楊宇勛教授 |
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8 |
99年8月至102年7月 | 方志強教授 |
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9、10 |
102年8月至108年7月 | 楊維真教授 |
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11 |
108年8月迄今 | 朱振宏教授 |